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详细介绍

如何防止微粒子污染
在电子元件制品的制造过程中,微粒子污染对成品率有重大影响,故应在过程中严格控制微粒子的数量,遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。
  无尘室内的浮游微粒子浓度,使用高性能的过滤器即可容易达到零水平,实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,在制造品周边扬起了少许的微粒子,因而造成了元件清洁面的粒子污染。
  无尘室内该如何防止微粒子污染呢?应遵守下列四项基本原则:
  1)不携入
  在无尘室内不携入微粒子的方法有:
  作业员进入无尘室前,机台、零件携入前应进行清洁处理;
  进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
  通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后,才能进入无尘室。
  机器及材料带进无尘室前,应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭,经风淋室吹淋后才进入无尘室。
  无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
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